【激光干涉仪】一、
激光干涉仪是一种利用激光光波的干涉原理，测量微小位移、角度、表面形貌等物理量的精密仪器。它广泛应用于科学研究、工业制造、光学检测等领域，具有高精度、非接触、实时性强等特点。
激光干涉仪的核心原理是基于光的波动特性，通过将一束激光分成两路，分别经过不同的路径后重新相遇，形成干涉条纹。根据干涉条纹的变化，可以计算出被测物体的微小变化。常见的类型包括迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪和外差干涉仪等。
在实际应用中，激光干涉仪能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度，是现代精密测量技术的重要组成部分。随着激光技术和电子信号处理的发展，激光干涉仪的性能不断提升，应用范围也不断拓展。
二、表格展示
| 项目 | 内容 |
| 名称 | 激光干涉仪 |
| 定义 | 利用激光光波的干涉现象进行精密测量的仪器 |
| 原理 | 将激光分为两束，经不同路径后重合产生干涉条纹，通过分析条纹变化实现测量 |
| 特点 | 高精度、非接触、实时性强、稳定性好 |
| 常见类型 | 迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、外差干涉仪 |
| 主要用途 | 测量位移、角度、表面形貌、材料厚度等 |
| 测量精度 | 纳米级甚至亚纳米级 |
| 应用场景 | 光学检测、半导体制造、精密机械、科研实验等 |
| 优势 | 灵敏度高、抗干扰能力强、可远程测量 |
| 局限性 | 对环境要求较高（如温度、振动）、成本相对较高 |
三、结语
激光干涉仪作为现代精密测量的重要工具，凭借其高精度和高可靠性，在多个领域发挥着不可替代的作用。随着技术的不断进步，其应用前景将更加广阔。
